株式会社インパルスでは高周波電源(RF電源)、マッチングネットワークの修理・改善・開発・サポート・中古機器の販売を行っております。

高周波電源の修理・改善

ENI、AE、RFPP、COMDEL、DAIHEN、ADTEC、KYOSAN、PEAL KOGYO、THAMWAY、ULVAC 他

  • 総合的な知識と経験を活かし、故障箇所の修理にとどまらず、部品の最適化など信頼性の向上に努めております。
  • 対応機種は、お問い合わせ下さい。

マッチングボックスの修理・改善

AMAT、AE、LAM、ENI、ASTECH、ASTEX、ADTEC、TRAZAR、DAIHEN、KYOSAN、PEAL KOGYO、NODA RF 他

  • 長寿命化対策
  • アーキング対策
  • 対応機種は、お問い合わせ下さい。

マッチングネットワークの設計・製作

  • マッチングネットワークの、駆動系・制御系(CPU)、ネットワーク部の長寿命化を、弊社独自の方法にて施し、お客様より高い評価を受けております。

各種電子基板の設計・製作

  • 新規に基板等を、設計・製作いたします。

各種組込機器の設計・ソフトウェアー開発

  • 総合的な技術と経験をいかし半導体製造装置向けの組込機器の設計・開発を行っております。

各種メカニカルパーツの設計・製作

  • マッチングネットワークの電極等は、焼損事故が発生しやすいですが、弊社では改善品を設計・製作しております。
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